法兰克王国分裂后，卢森堡地区在963年成为阿登伯爵西格弗里德的领地。1060年其后裔康拉德成为神圣罗马帝国的卢森堡伯爵，卢森堡领地基本形成。
1308年卢森堡伯爵亨利四世被选为神圣罗马皇帝，称亨利七世，开创了帝国的卢森堡王朝(1308～1437)。
1364年，卢森堡升为公爵领地。
15世纪卢森堡为勃艮第公爵所控制。
16世纪初转归哈布斯堡王朝的查理一世统治。
1556年，转归西班牙国王统治。
16世纪末起，卢森堡的冶铁业开始发展起来。
17世纪，卢森堡卷入三十年战争。
1659年签订《比利牛斯和约》，卢森堡南部一些地区划归法国。
1684～1697年，法国曾占领卢森堡全境。
1714年西班牙王位继承战争结束后，卢森堡随西属尼德兰一起转归奥地利。
1795～1814年，法国占领卢森堡。
1815年维也纳会议决定，卢森堡升为大公国，以尼德兰国王为大公，同时又加入德意志邦联，由普鲁士军队驻防，卢森堡东部一些地区划归普鲁士。
1830年尼德兰分裂为荷兰与比利时两个王国后，1839年伦敦条约规定，卢森堡地区西半部划归比利时，东半部成为以荷兰国王为大公的有独立地位的国家。
1848年欧洲革命波及卢森堡，开始制定君主立宪性质的宪法。
1866年，卢森堡脱离德意志邦联。
1867年《伦敦条约》确定卢森堡为独立的中立国。
1868年，制定君主立宪制宪法。
1890年，彻底摆脱荷兰国王的统治，由拿骚-威尔堡家族（ss-Welbr)专领，卢森堡大公国独立。
19世纪末20世纪初，卢森堡经济迅速发展，尤其是冶铁炼钢业成为国家主要工业，成为发达的工业国家。
第一次世界大战中，德国军队占领卢森堡，大公及政府为德国控制。
1921年，卢森堡与比利时订立关税经济同盟。
第二次世界大战中，德国纳粹军队于1940～1944年占领卢森堡，将卢森堡并入德国。大公与政府流亡英国。卢森堡人民进行了反法西斯斗争。
1945年，战后，卢森堡加入联合国。
1948年，与比利时、荷兰建立关税经济同盟。
1949年，加入北大西洋公约组织，放弃中立国地位。
1958年，加入欧洲共同体。
1972年，卢森堡第4次修订宪法。现卢森堡有一院制议会，内阁对议会负责。主要政党有基督教社会党、社会主义工人党、民主党。
1972年11月16日，卢森堡与中国建立外交关系。
1974年以来，为适应国际市场日益激烈的竞争，改变国内经济结构单一局面，卢森堡政府推行工业多样化政策，取得了一些成绩，经济进一步发展，80年代钢产量人均达16吨，远居世界之冠，并成为国际金融中心之一。
1995年成为申根区国家，1998年5月成为首批欧元国之一。